（平成22年12月24日事務連絡により廃止）

                         ＩＴＯターゲット製造フロー 

注：  半導体産業において薄膜形成等に用いる材料を「ターゲット」といい、ＩＴＯ(インジウム・スズ
　　酸化物の略称)から成るターゲットを「ＩＴＯターゲット」という。